摘要：利用射频磁控溅射方法制备了VO2薄膜，通过正交试验设计研究镀膜工艺因素对薄膜导电特性的影响规律。试验结果表明，影响薄膜导电性能的主要因素是热处理温度，其次是衬底的温度，溅射功率和工作压强对薄膜导电性能的影响很小。X射线衍射结果表明，制备的VO2薄膜为非晶体结构，480℃真空热处理后，VO2薄膜结晶良好。由此得到制备VO2薄膜的最优化工艺为：衬底的温度400℃、热处理温度480℃、溅射频率120W和工作气压1．5Pa．

摘要：用直流磁控溅射方法制备了SmCo薄膜,通过正交设计实验考察了工艺因素对薄膜沉积速率的影响规律。研究结果表明,影响薄膜沉积速率的主要因素是溅射功率,其次为靶基距,在0.5～2.0Pa的压强范围内,Ar气压强的大小对溅射速率的影响很小。X-射线衍射结果表明:制备态的SmCo薄膜为非晶结构,500℃真空热处理后,薄膜中出现少量的微晶SmCo5化合物。磁性能测试表明:制备态SmCo薄膜的矫顽力随薄膜厚度的增加而显著下降;真空热处理过程中,薄膜结构缺陷及成分起伏减少,薄膜的矫顽力和饱和磁场强度显著下降,初始磁导率和饱和磁化强度显著增加。

摘要：超材料的谐振特性与其周期单元特性相关,周期单元的某一或是某几个参数的改变可以实现对超材料反射特性的调谐。利用有源集总元件的可变电阻特性,结合超材料设计,通过仿真优化和实验制备得到可电调谐超材料;分析对比了两种不同的布线方式所带来的不同的反射率特性和可调谐特性;并采用等效电路法对主动FSS层的阻抗特性进行了分析。

摘要：利用自行设计的一套净成形真空液相压渗工艺装置制备了净成形碳纤维增强铝基复合材料。通过对纤维与颗粒混杂技术、粘结剂的选择、溶胶 -凝胶法制备热解碳涂层效果的研究 ,使制备出的碳铝复合材料的纤维体积分数适中 ,纤维分布均匀。复合材料的拉伸强度及弹性模量分别达到 945 MPa和 2

摘要：本文采用磁控溅射镀膜技术 ,制备NdFeB、TbFe单层及TbFe/NdFeB复合薄膜。通过设计正交试验 ,优化溅射工艺参数。采用振动样品磁强仪、X射线衍射仪对不同热处理温度处理的NdFeB薄膜的磁学性能、晶体结构进行了研究 ,并采用电容位移测量法对TbFe薄膜和TbFe/NdFeB复合薄膜的磁致伸缩系数进行测量。研究结果表明 ,NdFeB薄膜和TbFe薄膜为面内易磁化方向 ,在低于 40 0℃温度下真空热处理 ,薄膜保持非晶态 ,显现较好的软磁性能。与TbFe薄膜复合 ,可以大大降低薄膜的矫顽力 ,其低场磁致伸缩性能优于TbFe单层薄膜 。