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压电薄膜微致动器的制作和有限元分析
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《清华大学学报（自然科学版）》2005年 第5期45卷 618-621页
作者：荆阳 雒建斌 易晓星 黄朋生清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室 中国科学院声学研究所北京100080 
为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行了实验测试和有限元分析。结果表明:当采用双层膜结构时,压电...
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