摘要：采用非平衡磁控溅射的方法,构建了Fe-C-Si非晶合金体系,详细探讨了Si对该非晶合金体系结构与性能的影响,研究结果表明:Si元素在溅射过程中促进合金非晶化;在退火状态下,Si元素通过碳的有效排出、铁的结晶性升高以及促进Fe3C石墨化等作用机理,整体降低体系的热稳定性;同时,Si元素的引入,使薄膜导电能力增强,硬度提高,但耐蚀性能下降。本研究工作将为新材料的设计和开发提供参照和启发。

摘要：磁控溅射纯V靶制备钒氧化物VOx薄膜,研究不同氧通量对VOx薄膜x值的调控。采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪和霍尔效应仪对薄膜形貌、结构和电学性能进行表征。结果表明:随着氧通量的增加,钒氧化物形貌由尖角较大颗粒逐渐圆滑缩小团聚,x值由1转变为1.5~2.5之间,最终接近2.5,同时电阻也逐渐增长。