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压电复合薄膜的SAW器件杂波抑制及仿真方法: 收藏
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引用; 《压电与声光》2024年第4期46卷 447-452,457页; 作者：王吉芳陈平静曹稚颖潘虹芝董加和肖强吴浩东陈正林马晋毅中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 模拟集成电路国家重点实验室重庆400060 南京大学物理学院声学研究所江苏南京210093; 针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,...; 针对任意复杂膜系结构压电复合薄膜声表面波(SAW)器件横向杂波抑制及精确快速仿真方法,从数学上严格分析推导了有限长结构分层级联理论和色散2D-COM模型,可精确快速地计算压电复合薄膜SAW器件传播方向及孔径方向结构对杂波模式的影响,并通过色散2D-COM模型对SAW器件杂波抑制进行综合分析。通过对41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW谐振器的优化设计与研制,结果表明,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。; 来源：详细信息评论

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