摘要：针对半导体器件的国产化制造及工艺制程需求,设计了一款适用于200 mm(8英寸)晶圆的立式扩散/氧化设备。介绍了设备的功能特点和几个关键部分的设计要点,并对炉体系统进行了详细论述;设备设计完成后上线进行了流片试验,根据工艺验证结果,该设备满足产品工艺要求,膜厚均匀性均优于±2%。

摘要：为了提高全向移动操作臂的控制精度,建立其运动学模型与动力学模型。首先,根据Mecanum轮的特性建立全向移动平台运动学模型,根据DH法则推导5自由度操作臂的运动学方程,并将操作臂基坐标与移动平台质心合而为一,推导出统一运动学方程;然后,在统一运动学模型的基础上,运用第二类拉格朗日方程,考虑移动平台和操作臂之间的耦合关系,考虑能量耗散问题,建立全向移动操作臂统一动力学模型;最后,依据设计搭建实验样机,并采用两种不同的转矩间接测量方法,在样机以不同运动方式情况下测量实时转矩,将之与由动力学方程算得的转矩计算值对比。结果表明,所建动力学模型正确可靠,为以后的运动控制提供了理论基础。

摘要：为满足立式扩散炉设备中晶圆片盒传输效率及定位精度高的要求,设计了一种五自由度混合型机械手,主体结构由Y、Z轴方向模组及SCARA机械手组成。利用改进型D-H法建立各连杆间的运动学模型,并进行运动学正逆求解;针对无穷逆解的问题,通过构造目标优化函数结合粒子群优化(PSO)算法进行求解。最终基于MATLAB完成仿真分析,结果表明所建立的运动学方程正确,机械手的工作空间满足使用要求,所得最优逆解可使机械手末端达到设定的定位精度。

摘要：采用中深孔爆破对井下危险采空区进行充填处理。介绍了爆破方案的设计思路和相关的爆破参数。采用平面三角形和垂直三角形布孔,孔间差异装药法等技术措施,成功实施了空区充填爆破,消除了重大安全隐患。

摘要：初中第三章第四节介绍了氢气的可燃性,如果氢气(或其它可燃性气体如一氧化碳、甲烷等)不纯,混有空气或氧气,遇到明火或火星、火花就会发生爆炸.为了加深学生的印象和对学生进行安全教育,课本同时介绍了用纸筒演示混有空气的氢气点燃爆炸的实验,但该实验操作不便且费时,稍不注意就不成功.为了充分利用宝贵的课堂时间和取得明显演示效果,我利用废旧材料制作了一个教学用安全可靠可燃气体引爆仪,在化学教学中为我提供了不少便利并取得很好演示效果,特介绍如下: