摘要：针对传统金刚石砂轮磨削硅片存在的表面/亚表面损伤问题,研制了一种用于硅片化学机械磨削加工的新型常温固化结合剂软磨料砂轮。根据化学机械磨削加工原理和单晶硅的材料特性,设计的软磨料砂轮以氧化铈为磨料,二氧化硅为添加剂,氯氧镁为结合剂。研究了软磨料砂轮的制备工艺,分析了软磨料砂轮的微观组织结构和成分。通过测量加工硅片的表面粗糙度、表面微观形貌和表面/亚表面损伤,进一步研究了软磨料砂轮的磨削性能。最后,与同粒度金刚石砂轮磨削和化学机械抛光(CMP)加工的硅片进行了对比分析。结果表明,采用软磨料砂轮磨削的硅片其表面粗糙度Ra<1nm,亚表面损伤仅为深度<30nm的非晶层,远好于金刚石砂轮磨削硅片,接近于CMP的加工水平,实现了硅片的低损伤磨削加工。

摘要：为研究自密实再生混凝土(RASCC)与带肋钢筋的黏结性能,设计了18组试件,通过中心拉拔试验研究混凝土强度、钢筋直径、黏结长度和保护层厚度对黏结性能的影响。研究表明:RASCC与带肋钢筋的黏结强度随混凝土抗压强度呈指数型增长,随劈拉强度呈线性增长,随钢筋直径和黏结长度均呈抛物线型增长,随保护层厚度的增加呈先增大后稳定的趋势。基于试验结果,提出了RASCC与带肋钢筋的黏结强度和临界锚固长度计算公式,建立了RASCC与带肋钢筋的黏结-滑移本构模型。

摘要：针对大型薄壁锥筒类零件在数控铣床上采用通用夹具装夹定位时存在装夹定位精度低、换装过程复杂等问题,结合锥筒的结构特征及装夹定位要求,开展了用于锥筒加工的快速换装零点定位系统的设计研究。建立了锥筒零点定位系统三维模型,采用有限元法分析了结构强度和刚度的薄弱环节,着重分析了锥筒加工区在切削力和夹紧力作用下的变形规律,以锥筒加工区变形量小于0.02 mm为优化目标,定位器安装位置、拉紧力为设计变量,运用Ansys Workbench进行优化设计,设计出锥筒加工的快速换装零点定位系统。

摘要：针对光电子基片超精密抛光对抛光机盘面转台的低速稳定运转要求,提出了采用无框直驱电机直接驱动液体静压转台旋转、圆光栅反馈转速、运动控制卡进行闭环控制的解决方案。基于Lab-VIEW程序和研华API通用运动架构设计人机交互控制系统,通过电流环、速度环和位置环搭建的三闭环控制系统由内而外逐步推导出传递函数,建立了转台运动控制系统的数学模型。使用Mat-lab内嵌的Simulink模块进行仿真分析,结果表明,所设计的环抛机直驱电机转台系统速度波动范围在1%以下且运行平稳,可满足光电子基片超精密抛光的要求。

摘要：椭圆形深凹坑管是一种新型强化传热换热管,该文采用数值模拟方法,研究不同参数对椭圆形深凹坑管流动和传热特性的影响规律,并通过场协同理论揭示强化传热机理。结果表明:椭圆形深凹坑管对流换热能力和管内流动阻力均大于传统光滑管,流速在管内截面面积最小处达到最大,且随着管内横截面面积的增加呈下降趋势;椭圆形深凹坑管的局部换热系数(h)分布趋势具有周期性规律,局部换热系数最高可达光滑管的5.3倍,平均值达到光滑管的1.75倍;在计算雷诺数范围内,椭圆形深凹坑管努塞尔数之比(Nu/Nu0)变化范围为1.78~2.30,摩擦系数之比(f/f0)变化范围为1.24~4.37,传热综合性能评价系数(CPEC)值变化范围为1.14~1.71,低流速下CPEC更高。最后,通过多元非线性拟合方法得出努塞尔数和摩擦系数的关系式,误差均小于10%,为椭圆形深凹坑管工业生产设计提供参考。

摘要：针对第三代半导体材料氮化镓(GaN)光电化学机械抛光的加工需求,研制了具有紫外光照射、电压加载和机械抛光功能的光电化学机械抛光(PECMP)装置。设计了紫外光可直接照射到GaN晶片表面的抛光盘单元,加工区稳定加载电压且与装置绝缘的电气回路,抛光盘和工件盘能够独立回转的驱动机构,并且抛光盘可以往复移动、抛光压力可以可调加载。建立了PECMP装置的整机三维模型,通过静力学分析和模态分析,优化了抛光盘和龙门等关键部件结构。搭建了PECMP抛光装置,并进行了性能测试,实现了可施加的光照强度0~200 mW·cm^(−2),电压大小0~10±0.1 V,绝缘电阻150 MΩ,抛光盘转速10~100 r/min,工件转速10~200 r/min,抛光盘往复移动速度1~100 mm/s,压力加载范围0~200 N,满足2英寸GaN晶片的PECMP加工需求。

摘要：针对非回转体锥形类工件的专用夹具存在定位精度低、换装过程复杂等问题,结合非回转体锥形工件结构形状特征及装夹定位要求,根据六点定位原理设计了定位方案,开展了用于非回转体锥形工件快速装夹定位夹具系统的设计研究。建立了非回转体锥形工件夹具三维模型,对非回转体锥形工件同轴度的调整方法进行探索,分析了径向调整装置对同轴度精度的影响。通过工装定位调整实验,实现了工件的同轴度≤Φ0.01 mm,为该类工件夹具设计和同轴度定位调整提供理论指导。

摘要：“十四五”规划中乡村振兴被提升到新高度,其中乡村旅游与乡村绿道是乡村振兴的重要抓手。在全域旅游快速建设时期,文章从全域旅游与乡村绿道网络结合出发,探索乡村绿道网络化构建新路径。在解析全域旅游视阈构建乡村绿道网络特殊性的基础上,辨析绿道网络各类规划技术优势与特征,优选绿道规划技术方法体系,为乡村快速建设时期提供绿道规划与资源组织的技术实施路径。

摘要：针对头锥与连接环的在线测量与自动装配的需求,以“IPC-运动控制卡”为控制核心部件,基于LabVIEW软件开发环境,设计了一套集装配、测量于一体的七轴控制系统。该控制系统在搭建电子电路的基础上通过研华通用运动API架构对七轴进行联动控制,通过数据采集VISA模块经过RS232串口与同轴激光位移传感器进行数据传输,最终将运行参数与测量结果生成本地文件进行保存。

摘要：同轴度是衡量机器装配精度的一个重要指标。为提高零部件装配的同轴精度,设计了专用的同轴度调整平台。根据影响同轴度的因素,选择了两个零件互为基准的新型调整方式对同轴度调整平台进行结构设计,通过ANSYS Workbench对调整平台的核心部件调整座进行结构优化,解决调整干涉的问题。最后分析了的同轴度调整平台精度,利用千分表测量反馈同轴度调整量,能够提高调整精度。经过理论计算,该同轴度调整平台的精度为1μm,能够满足机械装配的精度要求。