摘要：设计了一种基于双 Fabry- Perot干涉仪的新型纳米测量系统 ,阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点 ,详细设计了基于模糊控制理论的控制系统 ,提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米测量的理论依据及实测方法。在此基础上 ,对系统进行了仿真实验 。

摘要：设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统 :以激光为光源、双法 珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的微动工作台为纳米扫描测试系统 ,并采用计算机数字PID实时控制处理 ;提出了通过测量双法 珀干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ;理论分析了检测探针振动的方法 ;给出了基于柔性铰链机构的微动工作台的有限元设计新方法 ;设计了以电容传感器为精密位置反馈的PID闭环控制系统 ,解决了压电陶瓷等元件对系统造成的非线性影响 ;对系统误差进行了分析。

摘要：本文设计了一种基于双法布里—珀罗干涉仪、采用计算机实时控制处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统 ,描述了该系统的工作原理 ,详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里—珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ,分析了轻拍式探针的振动模型 ,给出了检测探针振幅变化的新方法及理论依据。

摘要：本文设计了一种基于双法布里—珀罗干涉仪、采用计算机实时处理、以轻拍式探针为传感器的新型纳米测量系统,描述了该系统的工作原理,详细进行了系统的理论分析。提出了通过测量双法布里—珀罗干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础,分析了轻拍式探针的振动模型。

摘要：设计了一套干涉条纹图像实时采集处理系统。在分析迈克尔逊干涉条纹特征表象的基础上 ,给出了通过跟踪干涉条纹的移动量测量被测对象纳米级位移量的理论公式 ;提出了干涉条纹特征点的提取与跟踪算法 :分段线性变换、方形窗口中值滤波和门限化边缘提取 ,给出了基于统计学原理的通过计算多条干涉条纹移动量获得被测对象纳米级位移量的计算公式。

摘要：介绍了用89C52单片机实现对纳米测量系统中测量部分的控制以及测量数据的采集过程的硬件实现,详细介绍了模糊PID控制器的参数设计、测量程序的控制流程、测量控制程序参数的设定以及用C51实现增量式算法的模糊PID控制器的软件设计过程。

摘要：本文讨论了转镜扫描激光非接触外径测量系统中主要部件(扫描用多面棱镜、准直和成像透镜)的设计,并给出参数计算公式和典型的数值计算。用现有的实验装置进行验证,其实验结果与理论分析结论符合较好,从而证实了本文提出的该测量方法的主要误差源为脉冲时间间隔测量误差、准直透镜焦距误差和脉冲重复频率误差,为进一步改进这种转镜扫描法的测试仪器提供了参考依据。