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基于工业大数据的晶圆制造系统加工周期预测方法
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《计算机集成制造系统》2017年 第10期23卷 2172-2179页
作者：朱雪初 乔非同济大学CIMS研究中心上海200092 
加工周期是晶圆制造系统的关键指标,对于进行准确的预测分析有助于帮助制定有效的调度排产计划。利用晶圆智能制造系统的工业大数据提取出有效信息,提出了基于工业大数据的晶圆加工周期预测方法框架;针对生产线状态会随时间推移动态变...
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