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大行程纳米级步进压电微动台的特性研究
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《传感器与微系统》2008年 第2期27卷 39-41,45页
作者:权哲浩 林玉池 赵美蓉 李光鲜 齐永岳天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室天津300072 金日成综合大学物理学院 
运用有限元分析方法,建立纳米级步进压电微动台的实体模型并进行了仿真计算,考察了结构参数对步进型压电微动台性能的影响,得到了压电微动台的固有频率和振型。采用正交实验法设计结构参数,分析了不同因素对压电微动台的固有频率和振动...
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