摘要：本文介绍恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了误差分析与实验结果．流量测量范围为３．４９～１．９７×１０５Ｐａ１／ｓ，不确定度≤２．２５％。该微流量计已用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

摘要：本文利用蒙特卡罗方法模拟了球形和柱形系统中分子流场的分布,给出了分布曲线。认为用柱形系统代替球形系统进行校准或测量时,若要求系统误差较小,有效测量区为柱形系统赤道附近、高约为柱高1/5的区域。通过对动态流量法测量系统的分析,得出采用测流量法比前级测压强法带来的系统误差要小的结论。对将公式P=Q/C_2和P=C_1P_1/(C_1+C_2)分别用于球形和柱形测量系统时,给出了修正系数。研究结果为多种真空系统的设计和应用提供了可靠的依据。

摘要：介绍了在研制高精度定压式流量计过程中所做的物理分析,着重对工作过程和误差因素进行了研究。通过实验分析和理论计算,已初步弄清了其工作过程及测量中的各种误差源;流量计恒温是实现高精度,低下限的关键,在结构设计和实际测量中应得到足够重视.

摘要：介绍了φ500制冷机低温泵的系统组成及其结构设计的特点。着重叙述了泵的性能测试方法,并通过实验测试了其主要性能指标。泵的工作压力范围为10^(-1)～10^(-7)Pa,对各种气体均有较大的抽速,并具有操作使用方便、性能稳定可靠、系统清洁无油等优点。

摘要：介绍了恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了实验结果，流量测量范围为３．４９～１．９７×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２．２５％。该微流量计己用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。