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一种抑制声表面波器件横向能量泄露结构及其应用: 收藏
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引用; 《压电与声光》2024年第5期46卷 680-684页; 作者：李世国褚梦群胡丞稷郑泽渔杜雪松董加和陆川李桦林陈彦光汪红兵马晋毅肖强中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 模拟集成电路重点实验室重庆400060; 采用42°YX-LiTaO_(3)基底的声表面波(SAW)滤波器、多工器易产生横向能量泄露效应,这种效应的产生会增大SAW器件的插损、缩减有效带宽、降低矩形度等。为了抑制声表面波的横向能量泄露,提出了一种假指加宽结构,并通过有限元仿真验...; 采用42°YX-LiTaO_(3)基底的声表面波(SAW)滤波器、多工器易产生横向能量泄露效应,这种效应的产生会增大SAW器件的插损、缩减有效带宽、降低矩形度等。为了抑制声表面波的横向能量泄露,提出了一种假指加宽结构,并通过有限元仿真验证了该结构的有效性。将该结构应用于Band 40和Band 41 SAW滤波器设计中,实验结果表明,该结构在不增加任何工艺复杂度的情况下能有效抑制SAW器件的横向能量泄露,从而减小SAW器件的通带插损、增加有效带宽、提高矩形度等。该结构能够拓展应用于其他频段的SAW器件。; 来源：详细信息评论

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