摘要：HL-2M装置真空抽气系统包括4套涡轮分子泵机组和4套低温泵机组。辅助系统主要由设备逻辑控制与信号测量、水冷却循环系统和设备供气系统3部分组成。真空室经过100℃烘烤后真空度达到2.3×10^(-6)Pa,超过了设计预期真空度,满足超高真空技术要求。

摘要：通过在加工现场和安装现场搭建的真空辅助系统、四极质谱计及氦检漏仪组成的检漏系统,运用残余气体分析和氦质谱检漏方法在冷态下对HL-2M真空室扇形段及真空室整体进行了真空检漏试验。对漏点进行修复后,测试了真空室的极限真空度和总漏气率等。真空室经过72h的抽气后,真空度达到3.7×10^(-5)Pa,超过了1.0×10^(-4)Pa的预期预抽真空度。用静态定容法测得的真空室漏放气率为2.3×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1),小于设定的真空漏率技术指标5×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1)。试验结果表明HL-2M装置真空室满足超高真空条件,符合设计要求。

摘要：通过搭建HL-2M真空室整体预抽气系统,对真空室的设计、加工和安装工艺是否达到超高真空技术要求进行了试验检测。采用三套分子泵机组和一套低温泵机组作为主抽系统,对HL-2M真空室进行了预抽,72小时后真空室真空度达到3.7×10^(-5)Pa,超过了预期的预抽真空度。在本底真空度为3.7×10^(-5)Pa的条件下采用静态定容法测试真空室漏放气率,结果显示真空室漏气率为2.3×10^(-7)Pa·m^(3)·s^(-1),小于HL-2A真空室预抽时总漏放气率两个量级。试验证明通过合理的抽气机组配置,HL-2M装置真空室满足超高真空技术要求,为将来开展高品质等离子体实验提供了良好的条件。