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微波MEMS滤波器的研究进展
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《空间电子技术》2010年 第1期7卷 90-95页
作者：李文明 李骁骅 杨月寒 刘海文 杨谟华 于奇电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 
文章介绍了应用于射频微波系统的MEMS滤波器,结合最近几年国内外的MEMS滤波器研究成果,从MEMS滤波器的设计方法和滤波器性能等方面阐述了各种MEMS滤波器的技术发展状态。
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