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双势垒磁性隧道结的磁电阻效应及其在自旋晶体管中的应用
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《物理学报》2005年 第7期54卷 3351-3356页
作者:曾中明 韩秀峰 杜关祥 詹文山 王勇 张泽中国科学院物理研究所(凝聚态物理国家实验室)磁学国家重点实验室北京100080 中国科学院物理研究所(凝聚态物理国家实验室)先进材料与结构分析电镜实验室北京100080 
利用磁控溅射方法沉积双势垒磁性隧道结多层膜,其中Al_O势垒层由等离子体氧化1nm厚的金属铝膜方式制备,然后采用深紫外光曝光和Ar离子刻蚀技术、微加工制备出长短轴分别为6和3μm大小的椭圆形双势垒磁性隧道结(DBMTJ),并在室温和低温下...
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