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燃油蒸汽压力传感器的封装研究
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《仪表技术与传感器》2022年 第8期 15-19页
作者：杜奋豪 王冰 薛立伟 刘雨墨 张雯霞 陈立国苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心江苏苏州215021 昆山双桥传感器测控技术有限公司江苏昆山215325 
为了实现面向汽车燃油蒸汽压力检测的压阻式微压传感器封装,应对其油污、振动的使用环境,减小封装结构应力对压敏芯片的影响,采用芯片背面承压,与电路集成在一块陶瓷基板上,再同塑料外壳组装成完整传感器的封装方式。通过仿真软件辅助设...
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