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半导体微碟激光器设计原理与工艺制作
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《光学学报》2002年 第5期22卷 563-567页
作者：吴根柱 杜宝勋 杨进华 任大翠 张兴德长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室长春130022 中国科学院北京半导体研究所北京100083 
用经典量子电动力学理论初步研究了半导体碟型微腔激光器的设计原理 ,采用光刻、反应离子刻蚀和选择化学腐蚀等现代微加工技术制备出抽运阈值功率很低且品质因数很高的低温光抽运InGaAs/InGaAsP多量子阱微碟激光器。这种激光器制作工艺...
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