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检索条件"作者=杨文韫"
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基于条件加权似然方法的BOIN12设计的改进研究
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《中国卫生统计》2024年 第1期41卷 7-11,17页
作者:夏天 张语澄 杨文韫 言方荣中国药科大学生物统计与计算药学研究中心210009 
目的基于条件加权似然方法对BOIN12设计进行改进,解决试验药物毒性和有效性出现延迟的情况下的最优剂量探索问题。方法利用条件加权似然方法给出延迟情况下的似然函数,对毒性率和条件有效率进行估计。通过模拟将改进后的BOIN12设计与其...
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TITE(e)-U-Keyboard两阶段Ⅰ/Ⅱ期试验设计研究
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《中国卫生统计》2023年 第6期40卷 811-816页
作者:何娟 杨文韫 张语澄 言方荣中国药科大学生物统计与计算药学研究中心210009 
目的针对肿瘤靶向制剂和细胞免疫疗法治疗效应延迟的问题,基于Ⅰ/Ⅱ期试验设计框架,构建创新试验设计方法TITE(e)-U-Keyboard。方法采用二项近似似然法纳入尚未观测到的有效性结局信息,构建近似分布,辅助决策,并将TITE(e)-U-Keyboard同...
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结构光照明显微成像技术在集成电路掩模检测中的应用
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《光学学报》2024年 第11期44卷 179-186页
作者:魏鑫 刘泽旭 张子怡 杨文 曹晶 林楠上海大学微电子学院上海200444 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室上海201800 超强激光科学与技术重点实验室(中国科学院)上海201800 
针对集成电路成熟制程下的掩模检测需求,设计了一种适用于该应用场景的透射式结构光照明显微(SIM)检测系统。SIM技术在频率域内利用空间混频将物体的高频信息载入到光学系统的探测通带,从而使分辨率突破衍射极限。采用数字微镜器件(DMD...
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极紫外光刻光源的研究进展及发展趋势
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《激光与光电子学进展》2022年 第9期59卷 15-34页
作者:林楠 杨文 魏鑫 王成 赵娇玲 彭宇杰 冷雨欣上海大学微电子学院上海200072 中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学工程部(筹)上海201800 
随着芯片特征尺寸的不断减小,借助193 nm准分子光源的浸没式深紫外光刻技术已进入瓶颈,使用多次曝光技术的工艺路线也已到达目前的商用极限。极紫外光刻(EUVL)采用13.5 nm的极紫外光源,被认为是下一代光刻商用化路线必需的技术。综述了...
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