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超高宽深比结构氮化硅波导的研究
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《半导体光电》2017年 第4期38卷 478-482页
作者：杨聚朋 刘惠兰 冯丽爽 王琪伟 杨照华北京航空航天大学光电技术研究所微纳测控与低维物理教育部重点实验室北京100191 
超高宽深比结构氮化硅波导具有低损耗和高偏振消光比的优异性能,是抑制集成光学陀螺中偏振噪声的可行性方案。文章基于FEM和FDTD方法对氮化硅波导的模场分布、弯曲损耗及光纤插入损耗进行了仿真分析,通过对波导截面结构的设计优化,并采...
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