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光学元件表面疵病检测仪的精度建模及预测
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《机械设计与制造》2018年 第6期 98-101页
作者：杨荟琦 李显凌中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心吉林长春130033 中国科学院大学北京100049 
为了对疵病检测仪的精度进行预测并对设计方案的合理性进行验证,基于多体系统理论对疵病检测仪机械运动机构进行了精度建模。用低序体阵列和拓扑结构描述了疵病检测仪的结构特点,提出了疵病检测仪的精度模型,针对光学系统的要求进行了...
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