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连续镀膜在真空蒸镀中的应用
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《现代机械》2024年 第3期 13-18页
作者:林启璇 韩辉 张松林沈阳理工大学机械工程学院辽宁沈阳110000 成都超迈光电科技有限公司四川成都610100 
蒸发镀膜是现有薄膜沉积中最为泛用的镀膜技术。针对现有蒸发镀膜设备在进行大批量薄膜制备时效率低下这一问题,基于规模生产需求设计了一种连续式蒸发镀膜设备,该设备通过设置多个仓室,仓与仓之间通过隔断阀连接,用以保持薄膜沉积仓内...
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