摘要：弹光效应双反射膜是一种各向异性的高反射膜。在预加了应力的基片上镀制高反射膜 ,然后撤去基片上的预加应力 ,则基片上因弹性变形而产生的应变便转移到了膜系上。由于弹光效应使膜系成为各向异性的 ,从而使垂直入射光束的两个正交偏振反射分量有了一定的相对相位延迟。理论分析和实验证明 ,选择好膜系结构 ,确定好中心波长 ,并经优化 ,在工作波长处可以得到较大的相位色散 ,施加 10 0 N的力就能在正交方向获得 1.8°的相位差而反射率保持不变 ;此膜系用于氦氖激光器 ,可制出频差为 5 MHz量级的双频激光器。文中给出了一个弹光效应的双反射膜的结构参数和数值计算结果。

摘要：基于表面等离子体共振 (SPR)的纳米定位装置可以实现纳米级的定位分辨率和重复性。通过设计特殊四面体棱镜 ,使四面体棱镜第一个反射面的入射角等于SPR的共振角 ,在该反射面上镀上金属膜 ,后面放置光纤探头构成SPR定位指零装置 ,实现了纳米定位装置和干涉仪系统的集成。干涉仪测量前利用SPR纳米定位系统确定一个零位 ,当发生漂移时回到定位零点进行读数校正 ,就可以减少干涉仪的漂移误差。建立了集成纳米定位装置的干涉仪系统。实验表明 ,干涉仪的测量不确定度从 70nm减小到 10nm 。

摘要：柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台特性进行了测量。结果表明 ,该工作台具有纳米级的分辨率和定位精度。

摘要：提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。