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简化扩散泵泵芯结构的探讨
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《微细加工技术》1995年 第2期 60-66页
作者:龚汨清 尹秋琴 林曼印长沙电子部第48研究所 
本文介绍生产显像管排气过程中扩散泵的使用情况。在分析该情况下扩散泵的使用周期和扩散泵油分馏作用的基础上,认为此种扩散泵泵芯设计可以不考虑分馏作用,从而将泵芯结构简化。并报导新设计的泵芯结构及主要实验结果。
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