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一种高电场激励效率的石英谐振元件设计: 收藏
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引用; 《压电与声光》2016年第6期38卷 840-842页; 作者：林丙涛林日乐林朝营赵建华李文蕴中国电子科技集团公司第二十六研究所重庆400060 重庆市固态惯性技术企业工程技术研究中心重庆401332 重庆市固态惯性技术工程实验室重庆401332 重庆通信学院重庆400035; 设计了一种谐振梁为双"W"截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于"H"形截面的谐振元件,双"W"形截面的...; 设计了一种谐振梁为双"W"截面形状的石英音叉谐振元件,通过在梁表面凹槽的两端设置深凹槽,有效提高了凹槽侧壁的陡直性,进而提高了电场的激励效率。经仿真对比,相对于"H"形截面的谐振元件,双"W"形截面的谐振元件的压电激励力提高约58%。设计了元件芯片工艺方案,并在直径50cm的晶片上制作出两种截面形状的谐振元件。测试结果表明,双"W"形截面的谐振元件的品质因数(Q)值和导纳分别由2 387、2 143ns提高至2 648、2 346ns,动态阻抗值由548kΩ降至417kΩ。; 来源：详细信息评论

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