摘要：为了获得高的开口率,有必要优化设计参数和工艺容差。通常的过孔刻蚀工艺采用SF6基气体进行刻蚀,但是这种方法在金属和钝化层之间的选择性太小,因此,必须增加过孔的尺寸才行。为了克服上述问题,在本研究中用CF4气体代替SF6气体进行刻蚀,结果在FFS 5 .16(2 .03 in)像素结构中,开口率提高了60 %。

摘要：为了降低薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的功耗,提出了一种新的双栅之型反转驱动方法。研究了双栅之型反转驱动技术的节能原理,完成了相关结构设计、电路设计,制作了35.6cm(14in)WXGA(1 366RGB×768)样品,测试并分析了节能效果。结果表明,该技术可以有效降低TFT-LCD的功耗,在显示彩条画面的情况下,液晶屏模拟电源功耗降低了70%(191mW)。分析了出现的莫尔条纹问题,并提出了解决方案。该研究为降低TFT-LCD及其他显示设备的功耗提供了一种驱动方法及设计参考。