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一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化: 收藏
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引用; 《计算机测量与控制》2015年第5期23卷 1831-1834页; 作者：侯帅张振海林然张东红李科杰柳新宇张亮李治清李剑许涛何昫史秀峰北京理工大学机电学院北京100081 合肥市新星应用技术研究所合肥230031; 基于高冲击MEMS加速度传感器的冲击灵敏度、频率响应与敏感芯片的结构尺寸存在相互制约关系,提出在满足传感器结构强度和固有频率条件下,提高传感器冲击灵敏度的理论分析、仿真模拟与实验验证的方法;运用ANSYS软件对敏感芯片的弹性膜片...; 基于高冲击MEMS加速度传感器的冲击灵敏度、频率响应与敏感芯片的结构尺寸存在相互制约关系,提出在满足传感器结构强度和固有频率条件下,提高传感器冲击灵敏度的理论分析、仿真模拟与实验验证的方法;运用ANSYS软件对敏感芯片的弹性膜片厚度与中心岛厚度进行多次设计与仿真,通过多组仿真数据对传感器的结构尺寸进行优化;高冲击实验验证表明,优化的传感器结构尺寸、性能指标能够满足设计要求,冲击灵敏度较高。; 来源：详细信息评论

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