摘要：针对煤岩声发射信号监测系统的需求,采用16位定点DSP芯片TMS320VC5509A和高精度A/D转换器ADS1278设计了一种具有24位分辨率、16通道同步数据采集功能的数据采集电路。控制接口采用I2C接口扩展I/O的方式实现,数据接口采用McBSP接口以帧同步方式实现,2片ADS1278采用菊花链的方式级联。给出了硬件电路、底层软件和测试结果,该数据采集电路具有接口简单、高性能、低功耗、设置灵活等特点,已经应用于课题组研制的煤岩声发射监测系统中。

摘要：分析了蓝宝石衬底晶圆上片工艺现状,并结合工艺控制要求,提出了蓝宝石衬底晶圆上片工艺和装备智能化改造方案,设计研制了一种双工位智能化上片工艺装备,该装备采取三轴伺服控制并配合伯努力吸盘实现晶圆无损精准抓取,机器视觉技术配合机器人实现晶圆精准定位和自动装盘,并设计晶圆载具开合、锁紧机构以及升降式载具料筐,实现载具的供给、开合、锁紧、入库等动作。通过样机试验发现,装备功能和工艺精度均取得了良好的效果,满足使用要求,提高了生产效率,从根源解决了因人工操作可靠性和一致性难以保证而引起的晶圆质量问题。