摘要：在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差,从而实现预对准机自身与相对坐标系的综合标定。针对预对准机与机械手相对坐标系的标定提出了多种方法,并选取了适用于实际情况的方法进行了标定实验,验证了方法的有效性。这种综合标定方法弥补了现有实验条件的不足,避免了对不易标定参数的直接标定,简化了标定过程,提高了设备初始安装与调试的效率。

摘要：针对晶圆传输系统快速、平稳、可靠的特点,设计了一款基于DSP微控制器的晶圆传输平台,提供了一种应用DSP微控制器实现在晶圆传输系统中自动扫描识别的算法。该算法能够有效识别导致晶圆自动传输失败的叠片、跨片和空片现象,完善晶圆自动传输过程中的报警机制。通过在产品中的应用以及详细实验数据的分析,该算法具备有效性及实用性,可在行业内广泛推广使用。

摘要：为满足医疗康复类设备操作手柄的人性化设计需求,提升数据传输速率,提高数据处理灵活性,解决液晶显示屏刷新速度较慢导致拖尾等降低用户体验的问题,本文设计了一种基于STM32微控制器的液晶屏图像显示及数据传输控制系统。通过将液晶屏显示内容分区处理提高实时数据的刷新速率,并利用Modbus RTU协议提高控制系统传输数据的实时性,在保证系统性能的同时提升用户的使用体验。