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高精密度平行光曝光机图形转移技术
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《印制电路信息》2012年 第3期20卷 34-36,39页
作者:黄志远 张建军 梁四连 杨小健 王泽宇 朱萌 何为铜陵市超远精密电子科技有限公司安徽铜陵244000 电子科技大学微电子与固体电子学院四川成都610054 
随着电子产品高精度成像的需求,对印制电路板的设计与制造的要求也越来越高。这推动了PCB生产所需的曝光设备的研制。为此研发出平行光曝光设备是制作密集细线路的关键。文章介绍了平行曝光机工作原理,解析了高精密度平行光曝光机图形...
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