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晶圆预对准系统定位算法研究
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《机电一体化》2013年 第3期19卷 30-34,54页
作者:梁家欣 朱晓博 刘品宽上海交通大学 机器人研究所上海200240 
为提高光刻机生产效率与国产化普及程度,论文设计了一种高效、低成本晶圆预对准装置。根据装置采样点数较低、预对准时间短的特性,对最小二乘圆法及质心法两种算法在晶圆形心定位中的使用特点进行探究,并通过仿真进行验证。提出最小二...
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浅议某70%含水率市政污泥储运系统设计思路及要点
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《中国设备工程》2022年 第7期 228-229页
作者:沙永涛 李博 张洁 吴韵雯 蒋慧 梁家上海市机电设计研究院有限公司上海200233 
本文针对具体的70%含水率的湿污泥储运系统,提出了工艺设计的思路和设计要点,具体来讲包括:(1)采用大截面、低高度的长方体储仓设计,并配套采取多种防堵塞措施;(2)泵送设备排除螺杆泵而选取柱塞泵;(3)管道采用衬塑钢管,流速选取0.06m/s...
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