摘要：在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管(LED)进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数量,能更有效地利用透镜发挥匀光效能.用软件分别仿真了近六边形、9×9方形透镜的照明系统,并对比了其照度图,结果表明使用近六边形阵列的照明系统照度更为均匀.用近六边形阵列设计的照明系统与数字微反射镜(DMD)、光刻镜头相结合,进行了2μm精度的数字光刻实验,其像面照度均匀,线条清晰.

摘要：本文介绍了一种基于ARM嵌入式处理器的智能仪器,并给出了该仪器的软、硬件设计方案。详细论述了仪器的硬件组成和设计,简要说明了移植μC/OS-Ⅱ嵌入式操作系统的关键和对操作系统的扩展设计,最后以信号发生功能部分为例给出了信号发生器任务的设计方法。

摘要：频带窄和结构复杂是现有非对称传输声学器件设计中的主要问题。设计了一种声学超表面弯管结构非对称传输声学器件,该器件在6000～8500Hz频带的宽频范围内实现了正向导通而反向截止的声单向传输特性。透射型超表面单元结构与背景介质良好的阻抗匹配使得该声单向器件在导通时具有较高的透射效率。通过调节弯管倾斜角度得到了效率较高的单向传输设计方案。同时,通过调节透射型超表面的旋转角度,实现了双向隔声性能,并研究了双向隔声的控制规律。该设计为声波非对称传输提供了一种简单的实现方法,在宽频噪声控制和超声医学等领域都具有潜在的应用价值。