摘要：无线无源高温压力传感器在高温、高压等恶劣环境中应用日益广泛.其耐高温性能已成为衡量传感器的-项最基本且重要的指标. 利用低温共烧陶瓷LTCC（Low Temperature Co-Fired Ceramic）技术.分别设计和制作了陶瓷基片上电感及电容器件.并进行高温特性测试.通过讨论和分析确定了造成电感和电容随温度变化的原因. 测试结果表明：在100℃-500 ℃温度范围内.电感L基本保持不变.等效串联电阻R 增大了2.7倍.电容C增大了5.3%.从而LC谐振传感器的品质因数Q 减小了72.8%. 该测试及分析对高温环境下基于LC谐振式压力传感器的优化设计具有重要的指导意义.

摘要：在SIMOX技术SOI晶圆的基础上,设计了压力敏感芯片结构,并基于MEMS工艺制作了压力敏感芯片。根据芯片实际情况,分析了传感器制备过程的关键工艺参数及其影响。同时采用5 V恒压源供电,在相同情况下,增加kulite压力传感器背靠背测量不同气压下的输出电压值并比较。测量结果表明,所制备的SOI压力传感器线性度达到0.99%,重复性高达0.35%,迟滞性为0.1%,有望用到实际工程应用中。

摘要：微电子机械系统(MEMS)热电堆红外探测器是非接触测温仪、光谱仪、气体传感器等现代信息探测系统的核心工作器件。研制了一种交叉式排布的圆形热电堆结构,其热偶条形状由传统矩形调整为直角梯形以降低探测器电阻,热端通过交叉式排布延伸至中心温度集中区,同时增大冷端欧姆接触面积并覆盖反射层以降低冷端温度,有效地增大了冷热端温度梯度。测试结果显示,优化后的交叉式圆形MEMS热电堆探测器距黑体辐射面3 cm处响应电压为22.673 mV,响应率为47.5 V/W,探测率为1.01×10^(8)cm·Hz^(1/2)·W^(-1),相对于传统圆形热电堆探测器的18.649 mV、39.1 V/W和0.852 cm·Hz^(1/2)·W^(-1)分别提升了21.57%、21.48%和18.5%。给出了热电堆探测器结构设计、仿真结果、制作工艺以及测试结果,为热电堆红外探测器的优化设计提供了参考。

摘要：主要研究了LC谐振互感耦合系统的耦合性能。从平面螺旋电感线圈互感模型分析了LC谐振互感耦合系统的耦合因数与距离、线圈尺寸之间的关系,设计并制作多组不同参数的电感线圈进行比较实验。结果表明当传感器的尺寸大小受外界环境限制而固定时,线圈内径的增大、匝数的减小(线宽和线间距一定);线宽、线间距和内径的减小(匝数一定)能有效增大耦合因数;并提高了互感耦合系统的传输效率,更有利于对LC谐振传感器信号的提取;为LC谐振传感器应用在高温、高压等恶劣环境奠定了基础。

摘要：在现代检测技术中,经常需要对智能仪器内部的多路直流电平进行实时检测,从而得知工作是否正常。为此以ATmega16单片机为核心器件,采用内部ADC、加减运算电路以及三参数软件精度校准方法来设计一种测量系统,可以对-10 V^+10 V量程范围内的多路直流电平进行实时检测并用数码管显示。该系统通过proteus仿真以及对两路电平进行实际测量,误差范围≤0.02 V,且体积小、结构简单、工作可靠、响应速度快,可作为实际应用。

摘要：小量程压力传感器研制的主要目的是解决低压环境下的压力测量问题。结合CMOS-MEMS技术,提出了一种小量程电容式压力传感器设计方案。利用ANSYS软件分析了传感器压敏结构的静力学性能和动力学性能,验证了理论设计的可行性。传感器可动上极板厚度仅为3μm,提高了小量程压力测量时的灵敏度,可以测量1~50 k Pa范围内的压力。研究了制备工程中的关键工艺,介绍了传感器芯片的加工流程。所设计的传感器制作简单,成本低廉,易于单片集成,拓展了MEMS压力传感器的小量程应用领域。

摘要：面向航空发动机测试等恶劣复杂测试环境中动态压力测试需求,本文从芯片及封装结构设计、性能模拟仿真、器件制作工艺及传感器动态性能测试方面对碳化硅(SiC)高温压力传感器动态性能进行了系统研究。仿真结果表明:传感器频响为32.4kHz,上升时间为40μs。测试结果表明:传感器的频响不低于5kHz,上升时间为93μs。此传感器具有动态响应频率高、冲击信号响应速度快特点,为航空发动机内脉动压力测量提供了技术支持。

摘要：为了解热流传感器的自身温度与输出的具体数量关系,设计一种基于C8051单片机的热流传感器信号采集系统。该系统增加专用的温度信号采集模块,使系统结构更小,功能更多,且数据采集更精确,从而为后续数据处理奠定基础。

摘要：为提高SOI压阻式压力传感器的灵敏度,对传感器敏感结构的弹性膜片和压敏电阻的形状、尺寸等结构参数进行了优化设计。利用COMSOL Multiphysics多物理场耦合分析软件对优化后的敏感结构进行了静力学仿真与分析,完成了敏感芯片的制备和加压测试,测试结果表明:优化后的传感器输出灵敏度为5.98 m V/(V·bar),较原结构输出灵敏度提高了1倍,非线性误差小于0.096%。

摘要：为满足航天工程的需求,根据光离子化原理,设计了一种响应快、精度高(10-6)、便携、可连续测试的肼类监测传感器,可用于现场检测有机蒸气和气体。介绍了微型电离室设计和信号检测电路及安装工艺,并给出了测试结果。