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小型化硅基微腔光子测温系统: 收藏
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引用; 《计量学报》2023年第7期44卷 1052-1058页; 作者：梅明城韩琪娜施杨周琨荔曾九孙王瑾张诚高建新瞿志二潘奕捷屈继峰中国计量大学计量测试工程学院浙江杭州310018 哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院黑龙江哈尔滨150001 中国计量科学研究院前沿计量科学研究中心北京100029 北京理工大学光电学院北京100081 中国计量大学光学与电子科技学院浙江杭州310018; 回音壁模式硅基微腔光子温度传感可应用于强电磁场、高辐照、强振动等极端环境下的温度测量。在前期设计、制备、验证具有毫开尔文(mK)量级分辨率的硅基微环光子温度传感器的基础上,研制了一套小型化微腔光子测温硬件系统,包括信号发生...; 回音壁模式硅基微腔光子温度传感可应用于强电磁场、高辐照、强振动等极端环境下的温度测量。在前期设计、制备、验证具有毫开尔文(mK)量级分辨率的硅基微环光子温度传感器的基础上,研制了一套小型化微腔光子测温硬件系统,包括信号发生与高速数模转换、电压-电流转换、激光二极管温度控制和微弱信号采集与放大等模块,设计并实现了基于单片机的同步测量方案和光谱测温算法。在高稳定恒温浴槽内验证了系统性能,实际测温结果的扩展不确定度为115 mK(k=2),测温范围30 K。; 来源：详细信息评论

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