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应用于SOI晶圆的蝶形天线设计与仿真
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《建模与仿真》2024年 第3期13卷 3096-3102页
作者:楼蕾荧上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海 
绝缘体上硅(SOI)由于其工艺成熟、成本低且与互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,CMOS)制造工艺兼容,被广泛用来制造集成器件,应用在各种光子学领域,片上天线作为光通讯领域接受发射信号不可缺少的模块,被...
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