摘要：针对集成电路装备研发中的数据集成、应用集成与知识集成问题,设计了集成电路装备集成化研发平台。该平台遵循一切皆为服务的设计原则,使用服务构建应用系统,对产品数据的访问也被封装为统一的数据访问服务供外界调用。给出了集成电路装备集成化产品组件数据视图,并融合数据空间技术完成了异构数据的形式化数据资源建模。给出了基于本体的知识项统一描述方式,在此基础上实现了基于知识推送的知识应用模式。介绍了自主开发的集成电路装备集成化研发平台,并结合PECVD设备中喷淋头的设计,验证了平台的有效性。

摘要：针对目前仿真数据管理技术缺少文件语义访问接口支持的问题,提出基于语义的仿真文件跨平台访问方法,并开发了一个面向刻蚀机研发中仿真数据管理的语义文件系统。在工程需求分析的基础上,为实现仿真项目语义的结构化表达,开发了面向产品仿真领域的本体库。给出了基于语义的仿真项目访问形式化模型,并设计了基础的语义倒排索引结构及计算加速方法。介绍了所开发的原型系统,该系统能够屏蔽仿真文件的具体物理位置,使工程师实现基于语义而非物理位置的仿真文件访问、查询和共享。

摘要：从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响。与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性。本文首先介绍刻蚀机腔室约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布。提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果。最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论。

摘要：为了能够满足复杂产品研发过程中的不断迭代变化的产品数据管理需求,建立了面向复杂产品数据管理的适应性模型(APDM),给出了该模型的元模型的形式化定义,在此基础上建立了该模型的以产品结构为中心的领域模型表达框架,并以产品结构管理和文档版本演化为例分析证明了该模型的良好的表达能力与灵活性。设计了复杂产品适应性数据管理系统的体系结构以及基于可扩展标记语言(XML)格式的中性文件的异构系统产品数据交换接口,完成了适应性产品数据管理系统的开发,并通过在集成电路装备研发中的应用,验证了该模型的正确性与有效性。

摘要：针对传统基于连续流假设的N-S方程无法准确描述约束环内稀薄气体问题，采取二次优化策略，确定了CFD-ACE＋中基于努森数的粘度修正公式参数a、b的最优值分别为0．12和1．40。对约束环内气体流动进行模拟仿真，结果表明：利用本文中的粘度修正公式，可以使约束环内稀薄气体的模拟仿真结果与实验测量值相一致，该公式在较宽的入口流量范围（200—2000mL／min之间）内应用均可控制仿真结果的相对偏差在±3％之内，其精度满足实际工程需要；并且，获得粘度修正公式参数的方法同样适用其它微通道内稀薄气体的研究，对相同工况下类似刻蚀腔室内气流仿真、新机型设计等亦有很大的指导意义。

摘要：应用疲劳分析理论以及有限元失效分析方法,对保险阀疲劳断裂问题进行机理分析,结果表明振动环境下连通管受双向弯曲应力影响,连通管焊接根部存在明显的应力集中,容易发生疲劳破坏。依据分析结果对连通管采取了支架/卡箍固定并改善连通管走向的改进措施,对改进结构保险阀连通管进行微应变及振动疲劳寿命测试,试验结果表明改进结构改善了连通管应力分布,连通管疲劳寿命提高了3倍以上。试验结果也验证了分析方法的正确性和可靠性,本文分析及试验方法对结构件动强度及疲劳寿命的设计和验证具有一定的参考价值。

摘要：一、引言随着信息化技术的发展,信息资源呈现了爆发式的增长,国内外对于知识资源管理及其服务的研究也日益丰富,并且关注的焦点也从资源管理理念和概念的认识转移到了具体的行业应用,解决具体的企业问题。国内外很多大型企业已经建立起了针对自己企业特点的资源管理系统,将资源管理理论运用到实践中来获得竞争优势。

摘要：开展了基于Miner线性损伤累积理论的运载火箭高压气瓶在正弦振动下的疲劳分析。建立了包含支架结构的高压气瓶有限元模型,采用试验数据对模型进行了修正,保证了分析精度;基于Miner线性累积理论推导出寿命计算公式,结合扫频分析获得危险点应力-频率曲线对气瓶部件进行了疲劳寿命预测,可作为结构设计的重要参考。