摘要：为降低硅片台在曝光扫描过程中的加减速时间以及提高扫描速度的平稳性,设计了5阶对称S曲线。设定加速度三阶导数为恒定值,通过向上积分的方法确定了5阶S曲线的位置和速度表达式。以时间最优和冲击最小设计优化指标,对步进过程的5阶轨迹进行优化,设计了改进5阶S曲线。仿真结果表明,5阶S曲线可以使硅片台在短时间内加速到扫描速度,并且可以快速稳定。改进5阶S曲线大幅度缩短步进时间,硅片台步进曲线平滑无突变。

摘要：针对光刻机掩模台与工件台在曝光扫描过程中必须保持运动同步的问题,提出了一种迭代学习同步控制方法.为提高系统的动态跟踪精度和带宽,采用以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构,建立了掩模台的动力学模型.提出的主从同步控制结构以工件台为主动系统、掩模台为从动系统,在常规反馈控制的基础上加入了同步控制器.根据迭代学习控制方法设计了二阶同步学习律,并证明了该学习律的收敛性.仿真结果表明同步学习算法可以明显地减小同步偏差,同步偏差的峰值和移动标准差随迭代次数的增加而不断减小,在50次迭代后分别减小了45.12%和36.84%.

摘要：为减小双工件台光刻机的换台时间,提出了一种改进5阶S轨迹和时间-冲击最小控制算法.分析了双驱双桥换台策略,曝光位和预对准位的两个工件台依次执行5个点对点运动完成换台过程.在常规数值积分S轨迹设计方法中,增加了减小冲击的优化项,设计了改进5阶S轨迹使加速度曲线更加平滑.以换台过程的时间-冲击最小为优化指标,为工件台系统设计了最优控制算法从而大幅度减小换台时间,并且克服了单纯以时间最优Bang-Bang控制中加速度突变的缺点.仿真和实验结果表明,利用轨迹规划和最优控制方法可以实现快速换台运动,改进5阶S轨迹加速度曲线最平滑,时间-冲击最优控制比5阶S轨迹具有更短的换台时间.

摘要：针对传统WebGIS设计方法的局限性,利用Java平台无关性的优点,为拓展GIS在电子政务中的应用,提出了基于J2EE平台的Browser/Server模式的分布式解决方案,并以一个城市电子地图为例,着重探讨了J2EE平台上采用中间件(MapXtreme)设计和架构应用于电子政务的WebGIS的思想,主要包括客户端的选择、功能考虑以及服务器端的结构设计等,并据此提供了一个原型.该原型的建立及其设计的思想方法对于其他更为复杂的WebGIS的开发具有借鉴意义.

摘要：为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性。根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果。变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象。仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7nm,标准差为2.2nm。扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制。

摘要：针对双工件台光刻机测量位硅片形貌测量问题,提出一种基于参数曲面的硅片形貌建立方法。对焦传感器用于测量硅片表面高度值,基于三角测量和光学差分原理设计,可实现纳米级的测量精度。静态曝光方法建立的形貌图在Die内部不具备连续性,工件台进行垂向运动时需要额外的调整时间会降低曝光效率。采用参数曲面构建硅片形貌曲面,在Die内部扫描方向和测量光斑方向都具备几何连续性,能够直接生成工件台运动轨迹,可用于动态曝光应用场景。利用光刻对焦实验平台,通过逐场扫描方式获得200 mm硅片的高度图,采用双四次B样条曲面建立全硅片形貌图。实验结果表明,基于参数曲面的硅片形貌图在Die内部连续且光滑,全硅片范围滑动平均离焦误差为-35.8~13.3 nm,滑动标准离焦误差为5.9~41.4 nm。

摘要：随着煤矿企业的迅速发展,以保证安全为主要目的的安全监测监控系统在煤矿得到了广泛应用,但是其功能单一,可操作性差。为了提高安全监测监控系统的可靠性,适应矿井现代化建设,提出基于Web技术的煤矿安全监测监控系统。从当前安全监测监控系统的不足分析,阐述了煤矿对安全监测监控系统精准性、及时性、开放性、实用性的需求,指出Web技术在煤矿安全监测监控系统中运用的优越性,并提出Web技术以整体设计、系统安全设计、系统软件及功能模块设计为理念,为基于Web技术的安全监测监控系统的设计提供参考。

摘要：在人工智能发展背景下,分析机器学习技术在字体设计中的应用与价值,并指出有待解决的问题,对未来研究方向提出展望。文章从艺术设计视角出发,分析当前机器学习技术在字体设计中的相关研究,提炼字体设计过程中设计师关注的重要因素,对相关研究现状进行综述;基于分析对未来发展趋势及挑战进行预测,完成对机器学习技术与字体设计相关研究的发展过程、应用、优势及未来趋势的综述。机器学习技术的进步为字体设计带来新的发展机遇,不仅提高了设计的效率,而且使得字体设计的方式更加多样化,但目前机器学习技术在字体设计中的应用仍面临众多挑战,未来机器学习技术在字体设计还有较大的发展空间。

摘要：以双气缸协作为案例,分析了常用控制方案的优缺点,针对其中的不足之处,设计了以单片机为信号处理模块的双缸协作控制系统,利用软件平台分别完成了气动回路、电气回路与信号处理模块设计、仿真与制作。实践证明该试验台安全可靠、内容充实、操作性强、教学方便,能以较低成本完成集气动控制、电气安装、电子制作和单片机编程为一体的课程教学。

摘要：以智能家居系列产品中的无线遥控开关为例,介绍了在“大众创业、万众创新”背景下三维打印技术对产品设计和制造阶段的影响,分析了数模处理、切片、后处理等三维打印工艺,并对三维打印技术未来的发展进行了展望。