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三轴高g值MEMS加速度传感器技术研究
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《自动化与仪器仪表》2023年 第6期 224-229,234页
作者：盛青山 朱成俊 刘立新 段修杰河南工业职业技术学院机械工程学院河南南阳473000 河南省材料成形装备智能技术工程研究中心河南南阳473000 邓州星光机械装备有限公司河南南阳473000 
针对检测战斗部侵彻过程中加速度信号,控制战斗部最佳位置起爆的需求,开展三轴高g值MEMS加速度传感器结构设计,工艺参数优化、封装、标定和测试,信号提取与处理等研究,突破传感器敏感元件抗高过载高灵敏度结构设计、关键工艺参数优化、...
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