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10kV垂直双扩散绝缘栅型光电导开关结构设计
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《激光与光电子学进展》2019年 第19期56卷 228-234页
作者:王馨梅 王慧慧 张丽妮 段鹏冲 贾婉丽西安理工大学自动化与信息工程学院陕西西安710048 西安理工大学理学院陕西西安710048 
漏电流问题限制了传统半绝缘氮化镓光电导开关的高压应用。提出在半绝缘GaN∶Fe衬底(激光触发区)上增加n型外延层并在其中构造垂直双扩散场效应晶体管元胞阵列(电触发区),即在传统纵向光电导开关结构上引入了一个由栅压控制的反向pn结,...
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