摘要：针对碳化硅外延工艺过程中温度控制精度对外延膜厚均匀性影响较大,本文介绍了一种用于感应加热碳化硅高温外延炉及温度控制系统。通过分析碳化硅外延工艺对温度控制的要求,设计了一套温度控制系统。在国产碳化硅外延设备上进行验证,实验结果表明温度控制系统具有较快的响应速度和较低的超调量,效果良好,能满足碳化硅高速外延需求。

摘要：碳化硅外延设备是半导体产业链的重要设备之一,外延设备的控制系统直接决定了设备的优劣。针对用户对外延设备控制系统各项功能的需求尚未明确的问题,首先通过会议讨论、问卷调查、专家访谈等方式,收集整理出完整的用户需求清单并分类整合。其次运用改进A-Kano (Analytical Kano)问卷对用户需求及满意度进行权重评分。创新性地对问卷选项分值进行优化设计,有效确保了A-Kano的调查问卷所得到的结果与传统Kano模型没有原则上的偏差,提高了需求划分的相对准确性。进而利用A-Kano模型量化评估外延设备控制系统中各功能的需求层次属性,筛选出基础型需求、期望型需求和魅力型需求。根据需求清单及AKano需求实现优先级原则,制定了3类典型需求的设计、实现与优化研发方案,通过架构设计、应用界面设计、算法优化、差异化需求实现等确保提供给用户稳定的基础型需求、极致的期望型需求和惊喜的魅力需求。最终经实际验证系统稳定、可靠,已生产出膜厚均匀性、掺杂浓度均匀性、表面粗糙度等关键指标符合质量标准的外延片,达到工艺要求,并且用户NPS调研满意度高。

摘要：以斗轮机关键零部件作为研究对象,论述了参数化建模技术基本原理,对基于SolidWorks参数化设计的主要方法进行了详细介绍,并介绍了斗轮机关键零部件三维参数化设计的具体实现过程。

摘要：中国电子科技集团公司第四十八研究所是国内最早从事晶体硅太阳能电池整线交钥匙工程的单位,在国内已完成了几十家太阳能整线的建设。整线建设包括生产线设备的配置、安装,外围设施建设(厂房设计,净化间施工,水、电、气的设计施工),工艺调试,投产。其中外围设施建设的重要性往往被人们忽视。作者通过承担几条生产线的整线设计,参与了外围设施设计并在现场跟踪施工全过程,直至整线交付。在外围设施建设过程中发现了一些可修改的设计问题,在此提出来与大家分享。

摘要：对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从而控制管内压力,使管内流速均匀,达到好的扩散效果。

摘要：介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模电池片生产要求。

摘要：温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一,直接影响材料生长的质量。通过对温度控制系统的研究,分析了MOCVD温度控制特点,介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统,着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高温MOCVD设备中的应用。该系统控制效果良好,能进行稳定、均匀、高效的温度控制,为高温MOCVD的工艺研究奠下了坚实的基础。

摘要：介绍了一种多靶磁控溅射镀膜设备,阐述了镀膜室、工件台、阴极溅射靶、辅助离子源、真空系统等关键部件的设计思想。镀膜工艺结果显示,设备满足工艺要求,膜层均匀性优于±3%。