摘要：衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用．使用薄膜沉积法和离子束刻蚀法制作１６阶菲涅耳透镜，应用于折衍混合ＣＣＤ相机．进行ＣＣＤ相机光学系统成像质量评价和室外成像实验．该透镜的引入，不仅改善系统成像质量，而且实现了系统的轻量化、小型化，增加了系统设计的自由度．

摘要：针对激光直写光刻系统设计整形衍射光学元件 ( DOE) ,对写入焦斑的整形进行了研究。提出对不同焦距写入物镜下的焦斑 ,利用同一个 DOE加以整形的方法。模拟表明 :整形后焦斑的面形和边缘显著改善 ,衍射效率高于实用指标 ,提供一种改善系统分辨能力的有效途径。

摘要：我们使用薄膜沉积法制作 1 6阶菲涅耳透镜 ,其衍射效率接近 87% .用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化、增加系统设计的自由度 .在标量衍射理论的基础上 ,应用菲涅耳公式和傅里叶变换分析 Si O2 薄膜和基底的表面反射、对准误差以及入射角对 1 6阶菲涅耳透镜衍射效率的影响 .

摘要：衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着越来越重要的作用。衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。薄膜沉积法具有精确控制台阶高度及台阶表面较光滑的优点。使用薄膜沉积法制作1 6阶菲涅耳透镜 ,用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化、增加系统设计的自由度。测量了菲涅耳透镜的衍射效率并分析产生误差的原因。

摘要：由于衍射光学元件独特的色散特性及体积小、重量轻可进行复制等优点 ,它在国防、生产及科研等领域的作用越来越重要 ,应用于光学成像系统 ,不仅能改善系统成像质量 ,而且能实现系统的轻量化、小型化 ,增加系统设计的自由度。使用离子束刻蚀法制作的 1 6阶菲涅耳透镜应用于折衍混合CCD相机 ;测量菲涅耳透镜的衍射效率并分析了影响衍射效率的因素。