摘要：原子层沉积技术是一种优异的真空镀膜技术,广泛应用于泛半导体领域,原子层沉积设备是实现原子层沉积技术的一种工艺系统。基于可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)和人机界面(Human Machine Interface,HMI)设计了原子层沉积设备系统,通过分析原子层沉积技术的原理和工艺来设计原子层沉积设备的运行流程。系统设计过程中综合考虑系统的整体性能、成本、国产化等因素,最终确定以DVP-ES2系列PLC为控制器,以TPC1570Gn触摸屏为人机界面的控制设计方案。最后该系统以原子层沉积设备常用的单晶硅表面生长氧化铝薄膜实验作测试,通过椭偏仪来测量单晶硅表面氧化铝薄膜生长的厚度,计算每个周期氧化铝薄膜生长的厚度为结果,通过多组实验,该系统每周期生长厚度约0.125 nm,接近理论值0.12 nm,表明该控制系统达到了设计要求。

摘要：根据某母粒生产厂的制造执行系统相关需求,并在深入了解客户需求和充分进行现场调研的基础上,开展了对该厂设备工业互联网系统的设计和改造工作。基于可编程控制器和KingIOServer组态软件设计开发了一套设备工业互联网系统。该系统重点分布在设备层和边缘层两个层面。设备层主要采集设备上的各类数据并进行初步的数据处理等工作;边缘层主要负责采集各可编程控制器内的数据并由制造执行系统进行读取。

摘要：介绍了一种能够自动组装验孕棒视窗的设备。该设备以PLC为控制中心,传送方式为履带传送,其动力由伺服电机提供,履带上均匀分布着26个零件放置槽。设备自动运行后通过壳体检测光电检测零件放置槽上是否具有工件,从而决定是否进行验孕棒视窗的组装,在组装完成之后由产品质检光电进行检测,并剔除不合格的产品。文中介绍了设备控制系统的总体设计方案,完成了设备主要电气元件的选型设计、电气原理图的设计、PLC和HMI的程序设计等工作。说明了设备在实际生产中的生产状况并简述了设备在后期的改善与升级。

摘要：在当前的机械零部件加工等行业中,包装作业是不可或缺的一项,且所占的时间是不容忽视的。为减少包装作业的劳动成本及时间成本,本文分析人工包装作业流程,提出以三菱FX3U PLC为核心的控制系统,且与PAD建立通信进而接入工厂物联系统。本文还介绍自动包装机的控制系统设计方案,说明控制系统的主要硬件,阐述控制系统的设计。自动包装机具有较高的可靠性和智能性,能自动、智能、高效地运转。