摘要：在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >

摘要：通过对多端口调制技术基础理论分析,给出了一种改进的适用于宽带多端口直接调制电路的有效抑制载波泄露的相移网络设计方法,允许多端口相关器使用任意的阻抗负载。在插入损耗和回波损耗满足调制需要的前提下,实现了90°相移且性能良好,有效抑制了载波泄露。在ADS中计算相移网络的设计参数,在HFSS中建模,并采用有限元分析法对其S参数和相位特性进行仿真优化。此外,将其应用于多端口直接调制电路,通过QAM调制对其性能进行了验证。

摘要：本文报道了一种由＜１１０＞条组成的，用于（１００）硅ＫＯＨ各向异性腐蚀的凸角补偿图形．该图形的设计特点是利用不对称的分枝和端点弯头对条上腐蚀前沿实现控制使补偿后凸角的削角大大减小．文中给出常用补偿图形的有效补偿长度和临界补偿时的削角比．该方法已应用于微机械硅加速度传感器的掩模设计．

摘要：硅压力传感器发展的一个重要趋势,是向高灵敏度的微压传感器发展。1993年我们率先采用微机械的梁膜结构制得PT-24量程lkpa微压传感器。但在进一步提高灵敏度的研究过程中,遇到如下几个问题:(1)非线性随着灵敏度提高变差;(2)灵敏度提高,稳定性变差;(3)过载能力不够;(4)静电封接时背岛与玻璃基片相接。本文针对上述问题进行了研究,在PT-24量程1kpa微压传感器的版图和工艺基础上进行改进和提高,成功地设计并制作出PT-28量程500pa压阻式扩散硅微压传感器。

摘要：介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面，沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )， 线性度优于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。

摘要：近年来经济高速发展,人们对养生、节能和智能化等越来越关注。根据调查显示,人们在室内生活的时间占据了80%左右,然而室内的空气质量对人们的健康产生了巨大的影响,并且市面上没有完备的室内净化与控制装置。针对此现象,我们提出了基于IAP15F2K61S2单片机的智能空气检测与控制系统,使"雾霾""甲醛"等不再令人闻风丧胆,并且大大提高了各种智能家居的利用率。该系统设计是以IAP15F2K61S2单片机为控制核心,通过检测PM2.5、PM10、甲烷等的含量以及温度、湿度和光照强度等值,综合判断并设置合理阈值控制继电器的开闭,并根据气体成分含量的多少控制风扇转速,以此实现节能、智能化的空气质量检测与控制。

摘要：采用改进的 RCA清洗工艺提高了硅片的低温键合质量 ,提出了一种积聚式缓慢退火剥离方法用于制备智能剥离 SOI (Silicon On Insulator)材料 ,并用该材料成功地研制了双岛 -梁 -膜结构的 SOI高温压力传感器 .对 SOI压力传感器的测量结果表明 ,当温度增加到 15 0℃左右时 ,输出电压没有明显的变化 ,其工作温度高于一般的体硅压力传感器 (其工作温度一般在 12 0℃以下 ) .测得所制备 SOI压力传感器的灵敏度为 6 3m V/ (MPa· 5 V) ,比用相同版图设计和工艺参数制备的多晶硅压力传感器高约