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检索条件"作者=沈蓓军"
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星载高分辨全色相机光学系统总体设计
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《空间科学学报》2002年 第Z2期22卷 106-111页
作者:沈蓓军 汪骏发 刘宝丽 薛永祺中国科学院上海技术物理研究所上海200083 
4m高分辨对地观察小卫星是我国新近开展研制的遥感系列小卫星之一,其光学望远镜系统的设计因小卫星平台的结构而受到较为严格的限制.文章阐述了高分辨全色相机光学系统结构及光学参数的选取原则,给出了具体的设计方案,并对设计方案的成...
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CDMS—1型电视线宽测量仪总体设计
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《光学仪器》1993年 第6期15卷 23-29页
作者:沈蓓军 邹海兴上海光学精密机械研究所上海嘉定201800 
从光学线宽测量光强阈值理论、总体方案、精度分析计算等方面介绍了CDMS—1型电视线宽测量仪的总体设计。
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CDMS-1型电视线宽测量仪设计与检测
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《光学精密工程》1994年 第1期2卷 89-94页
作者:沈蓓军 丁生华 邹海兴 路敦武 杨良民中国科学院上海光学精密机械研究所 
本文介绍了中科院上海光机所研制的CDMS一1型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量,以及掩模制造中的质量控制,CDMS一1型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理,从而保...
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准分子激光深层光刻蚀在 LIGA 工艺中的应用
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《光学精密工程》1998年 第2期6卷 56-60页
作者:沈蓓军 王润文 路敦武 黄惠杰中国科学院上海光学精密机械研究所 
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计,并将该装置成功地应用于LIGA工艺的深层光刻中,光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大的实用意义。
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微机械构件组装技术研究
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《光学精密工程》1995年 第3期3卷 56-59页
作者:路敦武 沈蓓军 王德林 何伟 黄丽菊中国科学院上海光学精密机械研究所上海同济大学 
从取放微机械构件的方式,对观察系统的要求等方面对微机械构件组装技术进行了研究,并用所设计的组装装置进行了组装实验,得到了满意的结果。
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激光LIGA工艺实验设计
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《功能材料与器件学报》1996年 第3期2卷 172-176页
作者:沈蓓军 王润文 路敦武 黄惠杰中国科学院上海光学精密机械研究所 
文章介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计,并根据该设计思想进行了可行性原理实验,取得了较好的结果。
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预警卫星大口径拼接组合型二元衍射校正元件制作工艺研究
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《光学技术》2001年 第6期27卷 535-536,540页
作者:沈蓓军 郭晴 肖金才 薛永祺中国科学院上海技术物理研究所上海200083 
介绍了一种取代预警卫星红外施密特望远镜折射校正板的二元衍射校正板的设计及工艺制作方法 ,并对该拚接组合型的二元衍射校正板的制作误差进行了分析。
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