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单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究
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《中国机械工程》2005年 第Z1期16卷 193-195页
作者：赵江铭 沈雪谨 张永宇 陈晓阳上海大学上海200072 上海大学上海200072 上海大学上海200072 上海大学上海200072 
对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的...
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