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软X射线激光用分束镜研究
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《北京同步辐射装置年报》2002年 第1期 190-193页
作者：王占山 唐伟星 吴永刚 秦树基 陈玲燕 徐向东 洪毅麟 付绍军 朱杰 崔启明同济大学精密光学工程技术研究所物理系 上海200092 中国科技大学同步辐射国家重点实验室 合肥230029 中科院高能物理研究所同步辐射室 北京100039 
软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本文基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计...
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