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时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构(英文)
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《纳米技术与精密工程》2013年 第5期11卷 418-423页
作者：黄靖清 张婷婷 赵猛 伍峰 陈中建 洪理琛 张雅聪 鲁文高 郝一龙北京大学微电子学系微米/纳米加工技术国家级重点实验室北京100871 
设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关系,并利用Matlab/Simulink模型进行了验证.基于0.35μm高压CMO...
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