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微光成型法微细光束紫外光源的研制
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《光学技术》2001年 第5期27卷 469-471,480页
作者:王翔 沈连官 胡玉禧 赵钢 李川奇 潘微燕 刘群策中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥230026 
简要介绍了光成型法的原理以及在微细加工领域应用所需解决的关键问题。着重就选取经济性好的球形高压汞灯作为光源发光体 ,通过对聚光系统结构和聚光能力 ,导光光路的传导方式和光能传递效率以及缩微光路的成像性质的综合分析 ,并结合...
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