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静电吸盘吸附技术建模与仿真系统设计
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《设备管理与维修》2017年 第9期 40-43页
作者：魏宏杰 潘昭海 江冰松 马成爽 朱文彬新型功率半导体器件国家重点实验室湖南株洲412001 
半导体设备中常用静电吸盘的原理,通过在LABVIEW软件中仿真得出设备最佳运行状态下的相关参数。分析单极和双极静电吸盘的模型建立过程,研究Varian 810离子注入机的六相静电吸盘的原理及其使用中夹持电压、冷却气体等对产品良率的影响,...
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