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一种基于MEMS的小型化双通带宽带滤波器芯片: 收藏
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引用; 《电子技术应用》2021年第7期47卷 48-51,56页; 作者：濮泽宇万晶王霄李跃华梁晓新南京理工大学江苏南京210094 昆山微电子技术研究院江苏昆山215347 中国科学院微电子研究所北京100029; 基于Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)工艺,采用双层谐振腔滤波结构,分析并设计了一种基于MEMS的硅基Substrate Integrated Waveguide(SIW)双通带宽带带通滤波器芯片。设计的滤波器芯片在21.25~29 GHz以及43~47.5 GHz双通带频带...; 基于Micro-Electro-Mechanical System(MEMS)工艺,采用双层谐振腔滤波结构,分析并设计了一种基于MEMS的硅基Substrate Integrated Waveguide(SIW)双通带宽带带通滤波器芯片。设计的滤波器芯片在21.25~29 GHz以及43~47.5 GHz双通带频带内插入损耗小于3 dB,相对带宽分别为30%以及10%,带外抑制度大于20 dB,并且在双通带间产生了零点,尺寸仅为4.2 mm×1.1 mm×0.8 mm。该滤波器是平面堆叠结构,具有体积小、频带宽、易集成等优点,有较好的应用价值。; 来源：详细信息评论

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