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测试探针性能检测系统的设计与实现
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《国外电子测量技术》2022年 第10期41卷 97-103页
作者:汪俞成 肖金球 李盈 焦文开 谢翔苏州科技大学物理科学与技术学院苏州215009 苏州市智能测控工程技术研究中心苏州215009 
为满足国内厂商对集成电路测试中测试探针出厂检测的要求,分析了测试探针需要检测的功能、参数和测试方法,利用压力传感器、温度传感器、激光位移传感器、电阻测量计、运动模块执行机构以及控制与数据采集模块,设计了一种以LabVIEW为核...
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