摘要：光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心λ_(0)=520 nm的高反射,透射带λ为530~750 nm的高透射长波通滤光片。通过分析膜层敏感度和电场分布,设置合理的晶控方案,调整工艺参数,避免监控高敏感膜层时石英晶控灵敏度下降,解决光谱透过率降低的问题。研制的滤光片在520 nm处反射率为99.77%,在530~750 nm波段平均透过率为98.58%,可满足应用需求。

摘要：为提高中红外探测系统在载体高速运动过程中的探测精度,研制了抗CO_(2)气体辐射的负滤光片,在非球面单晶Si基板表面,选择Ge、ZnS和YbF_(3)作为镀膜材料,结合膜系设计基础理论,使用OptiLayer膜系设计软件对负滤光膜进行设计,石英晶体膜厚控制仪进行厚度监控。根据实验结果及膜层敏感度反演分析,优化膜厚监控方案解决了负滤光膜通带次峰过多及透射率下降等问题。测试结果表明,制备的负滤光片在4.15~4.4μm、5.15~5.5μm波段平均透射率分别为0.87%和0.23%;3.65~3.95μm、4.50~4.85μm波段平均透射率分别为87.04%和89.79%。研制的负滤光片有效提高了目标的探测精度,为中红外探测技术提供了重要的技术支持。

摘要：以硫系玻璃为基底,根据膜系设计理论,结合软件完成了短中波红外减反膜的设计。通过对材料热应力的计算分析,研制了一种混合材料M-11作为连接层,优化了沉积工艺参数,并根据其力学特性修正膜系结构,解决了硫系玻璃的脱膜问题。光谱测试结果表明,该膜层在1.4~2.5μm和3.5~4.5μm波段透过率分别为95.8%、96.7%,满足红外成像系统的使用要求。

摘要：根据气体探测系统灵敏度的要求,基于甲烷气体红外吸收光谱特性,结合工艺经验确定了滤波器的技术指标.采用"拆分技术"对气体滤波器进行膜系结构设计,降低了膜层产生的应力.通过电子束加热蒸发沉积薄膜,根据测试结果逆向分析,优化工艺参数.所研制的滤波器在7.669μm波长处峰值透过率达到85.14%,通带半宽度为59nm,覆盖了甲烷气体吸收区域,截止区达到了OD3,很好地抑制了背景噪声.

摘要：为了提高电视测角仪光学系统的性能,满足电视测角仪在测量导弹偏离瞄准线的角偏差和转动角速度中的要求,在设计中使用薄膜技术.依据光学薄膜设计理论,采用金属-介质组合结构设计了宽光谱分光膜和内反射膜,解决了宽光谱光束倾斜入射时产生的偏振分离问题;通过优化沉积工艺参量、离子辅助参量以及真空退火处理,解决了内反射膜的脱膜问题.实验测试满足系统使用要求,并通过了国军标的相关环境测试.

摘要：为满足关联成像系统抑制背景的需求,选用Al、Cr和SiO2作为镀膜材料,依据薄膜吸收理论,结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜,并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火,减小了膜层内应力,解决了薄膜牢固度问题;采用交互式分析对测试结果逆向反演,通过优化工艺参量,使膜系中敏感薄层厚度得以精准控制,并减小了膜厚控制误差.制备的吸收膜在4001 100nm波段平均吸收率达到99.1%,满足系统使用要求.

摘要：随着现代光学测试技术的不断发展,对图像处理技术的要求越来越高。灰度级层次蕴含了图像细节的重要信息,因此改变图像灰度级可以使图像的细节更清晰。通过滤光技术可以形成不同的灰度级。依据光学薄膜理论,并结合膜系设计软件,通过建立膜系优化评价函数,实现了0°~60°入射3~5μm滤光膜的设计,并采用真空沉积技术研制了灰度调节膜。通过在钼舟上方放置铜网,解决了由于SiO沉积速率不稳定产生的膜层表面缺陷的问题;采用逆向分析法对实验测试结果进行模拟,通过调整膜层监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制,降低了膜厚控制误差,从而平滑了光谱曲线。经过测试,制备的灰度调节膜满足红外成像系统灰度级调节的要求,并通过了相关环境测试。

摘要：随着军事隐形、太阳能转换以及激光热处理等技术研究的日益深入,对表面吸收膜的技术要求不断提高。为满足太阳光谱吸收的要求,研制了一种在400~2500nm波段具有强吸收作用、适应多种基底的光学薄膜。通过分析吸收理论,建立吸收结构模型,并结合材料的特性研究,实现了吸收膜的设计。采用真空离子辅助沉积技术,根据逆向反演法,对"分步沉积"工艺二次优化,制备了太阳光谱强吸收膜。测试结果表明,研制的吸收膜在400~2500nm波段的平均吸收率为98.15%。制备的吸收膜通过了机械牢固度测试,与基底能够很好地结合。

摘要：依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了产生误差的原因。采用不同的监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制。最终研制的滤光膜光谱测试结果表明,3.31μm单点透射率为93.7%,通带半峰全宽为49nm,1~3.2μm和3.4~5μm波段平均透射率为0.17%,满足系统使用要求。

摘要：为满足日盲探测系统的技术要求,研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性,结合光学薄膜理论,优化膜系结构,设计了介质与金属组合的膜系。采用电子束加热蒸发的方法沉积金属膜,通过对沉积速率的实验研究,在保证金属光学性能的前提下,有效降低了膜厚控制误差。采用逆向反演法与膜层敏感度分析,对谐振层工艺参数进行优化,有效降低了谐振层的控制误差。该滤光膜在200~270nm波段的平均透射率达到51.21%,在300~1200nm抑制区的平均透射率为0.90%。